昂坤视觉请求一种晶圆吸附设备专利防止晶圆中心受力不均衡而呈现陷落

日期：2026-01-02 09:56:59 | 作者: 分级机

  国家知识产权局信息数据显现，昂坤视觉（北京）科技有限公司请求一项名为“一种晶圆吸附设备”的专利，公开号CN121075992A，请求日期为2025年9月。

  专利摘要显现，本发明供给一种晶圆吸附设备，触及晶圆加工范畴，晶圆吸附设备包含设备主体、设于设备主体上的吸附组织及设于设备主体上且连通吸附组织的管道组织；吸附组织包含基体及设于基体下方的背板组件，基体接近背板组件的一侧、且由基体的中心向外距离设有多个同心腔槽，背板组件包含多个背板，背板与腔槽对应设置以使背板与腔槽组合构成多个腔体，管道组织连通腔体与气缸；基体上方设有多个吸附立柱，吸附立柱设有中心通孔，中心通孔连通腔体，以经过与不同腔体连通的吸附立柱吸附不一样的尺度的晶圆片。本请求经过在腔体的对应处设有多个吸附立柱，且在基体的中心设置有密布的吸附立柱，进步晶圆中心的受力，防止了晶圆中心受力不均衡而呈现陷落的状况。

  天眼查资料显现，昂坤视觉（北京）科技有限公司，成立于2017年，坐落北京市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本1312.0014万人民币。经过天眼查大数据分析，昂坤视觉（北京）科技有限公司共对外出资了4家企业，参加招投标项目43次，产业线条，此外企业还具有行政许可7个。

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